1150多弧离子中频磁控溅射镀膜机、1150多弧机价格、真空多弧离子中频磁控溅射镀膜机厂家
真空多弧离子中频磁控溅射镀膜机是当今世界上用于表面涂装PVD膜层的先进**设备,运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话,简便,镀出的膜层牢固且细密,是工业化生产的理想设备,其较大特点是它的环保性,真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备,无须**审批。由于配有先进的电器控制系统及稳定的工艺界面,针对各种金属进行表面镀膜。例如:钟表行业(表带、表壳、表盘等)、五金行业(卫生洁具、门把手、拉手、门锁等)、建筑行业(不锈钢板、楼梯扶手、立柱等)、精密模具业(冲棒标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、刀头)、汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)以及钢笔、眼镜等等,使其表面得到既美观又**的功能性磨层。主要镀制的膜层有:离子金、离子银、氮化钛膜、碳化钛膜、氮化锆膜、钛铝合金膜、氮化铬以及RP镀等超硬功能性金属膜,经离子镀膜加工后的工件,可以提高硬度、**度,抗腐蚀和美化的作用。可镀制颜色有钛金系列、锆金系列、拉丝系列、黑色系列、彩色膜层系列共十多种色系。
TG-1150多弧离子镀膜机主要技术参数:
1)镀膜室尺寸:1150*1200
2)真空系统:油扩散泵两台,2x-70升旋片泵一台,罗茨泵一台,2x-15升旋片泵一台
3)极限真空:5*10-4pa
4)抽气时间:从大气抽至5*10-3pa小于20分钟(空载)
6)多弧源:8个*95,功率:8*2KW
7)磁控溅射平面靶(无)
8)磁控中频溅射圆柱靶2支*30KW
9)偏压:20KW
10)温度控制:用温控仪控制,热电偶测量炉内温度
11)真空室加热:6根加热管
12)工件 转架:9轴公自转
13)充气方式:一路质量流量控制
14)设备总功率:80KW
15)设备总重量:约4T
16)设备总占地面积:16M2
17)使用220V/380V电压
18)用于冷却的水亦以软水为宜,水压为2kg/cm2
19)气源4-6kg/cm2,选用0.1立方的压缩机为宜
结构说明:
本机由全全不锈钢焊接成形。真空室为双层水冷套。机组配置为扩散泵两台,罗茨泵一台,升粗抽泵一台和升维持泵一台。配8个弧源靶,4个圆柱靶,工件为14轴装夹方式,阀门控制为拨动控制。