供应PECVD磁控连续式镀膜生产线

加工定制：是 **：振华真空 型号：PECVD生产线 用途：大型平面**制备硅类膜连续生产设备

 一、概述： PECVD磁控连续式镀膜生产线是大型平面**制备硅类膜连续生产设备、增强等离子化学沉积连续生产镀膜设备，采用射频PECVD化学气相沉积技术，沉积速率快，成膜质量好，可镀制氧化物薄膜、氮化物薄膜、氧氮化物薄膜、无定型硅薄膜和碳化硅薄膜等薄膜种类。

二、真空室尺寸和技术指标：大产品尺寸：1000×800（尺寸可根据客户要求订做） 1、极限压强：5×10－4pa 2、生产节拍：3-5分钟。（根据生产工艺而定）。

三、组成和系统： 1、PECVD磁控生产线由八个室组成，分别为：过渡室—加热室—镀膜四室—冷却室—过渡室。

振华真空拥有一支完善、精干的售后服务队伍，可在机械出现故障的**时间电话沟通教客户怎样排除故障；广东省内可在24小时内到达客户工厂进行检修工作，省外可在48小时内到达。

 ●用户在使用本公司产品的过程中所出现的问题或信息，请及时反馈本公司，以便本公司及时予以处理、改进和提高。

●在保修期内，产品确因质量问题而引起的损坏或不正常工作，本公司负责**维修或调换，并提供有关的保养维修知识。如因用户使用不当或在保修期外引起损坏或不正常工作，本公司仍对产品提供跟踪维修服务。

●本公司接到订单通知后，严格按照合同条款的有关规定组织生产、发货、**产品完好无损，按要求的时间、地点送到。

 ●公司所生产的产品均达到严格的企业标准和地区相关标准。