供应ITO透明导电玻璃镀膜机，太阳能电池镀膜设备

磁控溅射ITO镀膜机生产线设备： 磁控生产线主要用于压加力板材、玻璃、陶瓷、手机壳、电脑、PC、PET等表面磁控溅射高质量、多功能金属膜、防干扰电磁屏蔽膜（EMI）、反应膜、复合膜、透明导电膜(ITO)、抗反射膜（AR）、增反射膜等。具有大吞吐量连续式磁控金属化生产，采用**业较先进的生产工艺，较大地提高了膜层与工件的结合力、附着力。连续式自动生产线**了产品的一致性与稳定性，全制程无废气、废水排放，产品符合欧洲环保法要求。

ITO镀膜生产线技术特点 1) 真空室体材料采用 SUS304 ，真空室内壁进行抛光处理，外壁采用抛光后喷珠处理。

 2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计，它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好，更**。

 3) 传动采用磁导向，**传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。

 4) 电气控制系统：触摸屏与 P L C 自动控制，人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制

5) 真空系统：分子泵抽气系统

6) 镀膜系统：孪生阴极、配直流、中频磁控溅射电源，配闭环控制系统

7) 烘烤系统：采用不锈钢管状加热器配合均热板，确保基片加热均匀性

 8) 充气系统：**气体质量流量计技术参数 1) 极限真空压力：6× 1 0E-4 Pa 2) 平均生产周期：根据产品确定 3) 基片架尺寸：可以根据要求定做 4) 膜层均匀性: ± 3％先进的移动磁场技术大大提高了靶材利用率分段式加热设计，有利于工艺优化。

产品广泛地应用于液晶显示器(LCD)、触摸屏、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域