光伏薄膜铝背电极生产线产品介绍
卧式连续磁控溅射镀Al膜生产线共设计有七个真空腔体部分,**部分为进口室,*二部分为进口缓冲室,*三部分为进口传送室,*四部分为工艺室,*五部分为出口传送室,*六部分为出口缓冲室,*七部分为出口室;工艺室内布置六个旋转归较,采用直流磁控溅射工艺沉积高质量的Al电极薄膜;
设备设计加工尺寸为宽1100mm,长1400mm的平面基板材料,
生产加工周期可优化到120秒;
生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计,生产线共配有十八台涡轮浮分子泵以获得*的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。
生产线技术特点设备设计尺寸:生产线主体总长度:21m(以实际设计为准);工艺室:9600mm(L)×2000mm(W)×600(H)×1个(以实际设计为准);非镀膜室:1700mm(L)×1800mm(W)×600(H)×6个(以实际设计为准);门阀:150mm(L)×1800mm(W)×600(H)×6个(以实际设计为准);装卸架:1600mm(L)×1800mm(W)×600(H)×2个(以实际设计为准);升降架:1600mm(L)×1800mm(W)×600(H)×2个(以实际设计为准);回架:33000mm(L)×1800mm(W)×150(H)×1套(以实际设计为准);
技术参数生产线设计技术指标:产品尺寸:1×1100mm×1400mm×2-8mm平板型基板材料;基片架尺寸:1500mm(L)×1300mm(W)(以实际设计为准)镀膜材料厚度要求:SiO2膜和AZO透明导电膜生产周期:120s/架
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