厂家**AZO薄膜太阳能电池镀膜生产线

AZO薄膜太阳能电池镀膜生产线共设计有七个真空腔体部分，**部分为进口室，*二部分为进口缓冲室，*三部分为进口传送室，*四部分为工艺室，*五部分为出口传送室，*六部分为出口缓冲室，*七部分为出口室；两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶，形成高质量的隔离SiO2层；十对圆柱AZO靶，实现高质量的AZO透明导电膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长1400mm的平面基板材料，生产加工周期可优化到100－180秒；生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计，生产线采用涡轮浮分子泵以获得*的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。

生产线技术特点（1）设备类型：立、卧式连续磁控溅射镀膜线

（2）镀膜基片架尺寸：按照1×1100mm（W）× 1400mm(L)×3mm基片设计；

（4）膜层均匀性设计要求：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤±5％；

（6）阴极结构设计要求：采用中频孪生旋转归较，初步确定靶规格为135mm×1400mm；

（7）设备传动方式：采用双摩擦传动的卧式小车装载进片方式（不采用滚轮设计）；

（8）镀膜工艺实现方式：采用ZnO：Al陶瓷靶，采用反应溅射沉积工艺；

（9）镀膜温度控制：采用不锈钢铠装加热装置（可以按客户要求采用灯管加热），较高温度为350℃，按照常温～400℃可以任意设定设计，控制稳定度为±5℃；

（10）控制系统要求：控制系统能实现人、机对话，及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示，故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。

技术参数 1）极限真空压力：6× 1 0E-4 Pa

2）平均生产周期：80－180 秒／架

3）基片架尺寸：1100 mm× 1400mm（可以根据要求定做）

4）膜层均匀性：±5% 产品用途 该生产线运用在薄膜太阳能电池上，透明导电膜用为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不仅可以降低生产成本，而且无毒环保，膜层性能更加稳定。

振华真空拥有一支完善、精干的售后服务队伍，可在机械出现故障的**时间电话沟通教客户怎样排除故障；广东省内可在24小时内到达客户工厂进行检修工作，省外可在48小时内到达。

●用户在使用本公司产品的过程中所出现的问题或信息，请及时反馈本公司，以便本公司及时予以处理、改进和提高。

●在保修期内，产品确因质量问题而引起的损坏或不正常工作，本公司负责**维修或调换，并提供有关的保养维修知识。如因用户使用不当或在保修期外引起损坏或不正常工作，本公司仍对产品提供跟踪维修服务。

●本公司接到订单通知后，严格按照合同条款的有关规定组织生产、发货、**产品完好无损，按要求的时间、地点送到。

●公司所生产的产品均达到严格的企业标准和地区相关标准。