厂家供应电子枪真空镀膜机

电子枪真空镀膜机通过电子源（电子枪）产生的高能电子束并在磁场的作用下轰击坩埚中的镀膜材料，通过动能对热能的转换产生高温使得材料溶化并蒸发成薄膜。 而且其环保效能好，利用荷能粒子（通常用气体正离子）轰击物体，从而引起物体表面原子从母体中逸出的现象。将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有**损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显着技术经济效益的作用。真空光学（电子枪）镀膜机可镀制增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系，能够实现0-99层膜的膜系镀膜，也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀，并可在玻璃表面超硬镀膜。

全自动电子枪真空镀膜机参数说明

设备型号 GXW-1600A GX-900A GX-1100A GX-1200A GX-13500A

真空室尺寸 800×900 1050×1200 1100×1200 1200×1450 1350×1500

制膜种类光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等。

工件夹具拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转（卧式）

真空室结构立式前开门、卧式前开门（304不绣钢）、后置真空系统

真空系统滑阀泵（旋片泵）＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统）

加热系统发热管上加热方式，PID控制，较高温度350度

工作气体系统质量流量控制仪＋电磁阀

电子枪电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚，高压4KV-8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位。

电阻蒸发源 2组电阻蒸发源 离子源功率2KW，阳极电流较大6A。

双灯丝（自动切换）提高附着力、膜层密度、稳定折射率。（霍尔源）

晶振膜厚仪由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制

极限真空 8×10－4pa（空载、净室）

抽气时间空载大气抽至5×10－3pa小于15分钟

控制方式手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC

备注真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

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