供应磁控溅射镀膜设备

振华真空生产的磁控溅射镀膜设备的主机控制采用可编程序控制器（PLC）+触摸屏（HMI）组合电气控制系统。全自动控制，配置先进大功率磁控电源，恒流输出，克服靶中毒。

磁控溅射全自动镀膜设备技术参数说明
 
设备型号：ZCK-1200，ZCK-1400，ZCK-1600，ZCK-1800

真空室尺寸：1200×1500，1400×1950，1600×1950，1800×1950

制膜种类：多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等

电源类型：直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源

圆柱靶：直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶

真空室结构：立式双开门、立式单开门

真空系统：滑阀泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统）

充气系统：质量流量控制仪（1-4路）

极限真空：6×10－4pa（空载、净室）

抽气时间：空载大气抽至5×10－3pa小于15分钟

工件旋转方式：6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速

控制方式：手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC

备注：真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

因市场和生产发展需要，同时，为改善企业形象，提升企业的现场管理水平，现本公司已从2012年10月20日开始，正式从原“肇庆市端州区端州一路端州科技园内兴华二路”迁至新址“广东省肇庆市肇庆大道西段云桂路振华工业园（321国道过境公路近蓝带啤酒厂）”，原电话、传真、邮政编码、邮箱等联络方式不变。