供应600小型磁控溅射镀膜机肇庆厂家、ZCK-600磁控溅射镀膜机价格

600小型磁控溅射镀膜机肇庆厂家、ZCK-600磁控溅射镀膜机价格

磁控溅射镀膜机其工作原理是在真空状态下，使用弧光放电和辉光放电的工作原理。在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛，黑色碳化钛，七彩的氮氧化钛等。亦可镀防腐蚀膜（如AL,Cr不锈钢及TiN等）和**膜，膜层与基底结合牢固，适合于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业，具有很好的发展前景。
主要技术性能
1）镀膜室尺寸：1800*1950
2）真空系统：油扩散泵两台，升滑阀泵一台，升罗茨泵一台，升维持泵一台
3）极限真空：5*10-4pa
4)抽气时间：从大气抽至5*10-3pa小于20分钟（空载）
5）压升率小于等于0.7pa/小时
6）磁控溅射圆柱靶：40A*600  100KW
7）工件转架：6/8轴公自转，轴长1700
8）充气方式：一路质量流量控制
9）设备总功率：平均150KW 较大170KW，短时3分钟
10）设备总重量：约10T
11）设备总占地面积：20M2
12）使用220V/380V电压
13）用于冷却的水亦以软水为宜，水压为2kg/cm2
14)气源4-6kg/cm2，选用0.1立方的压缩机为宜
结构说明：
本机由全碳钢焊接成形。机组配置为扩散泵两台，罗茨泵一台，升滑阀泵一台和升维持泵一台。2个圆柱靶，工件为6/8轴装夹方式，阀门控制为拨动控制。