1600全自动磁控溅射镀膜机带分子泵、1600磁控镀膜设备肇庆厂家、ZCK-1600带分子泵
磁控溅射镀膜机其工作原理是在真空状态下,使用弧光放电和辉光放电的工作原理。在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛,黑色碳化钛,七彩的氮氧化钛等。亦可镀防腐蚀膜(如AL,Cr不锈钢及TiN等)和**膜,膜层与基底结合牢固,利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。适合于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业,具有很好的发展前景。
振华真空生产的磁控溅射镀膜机的主机控制采用可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统。全自动控制,配置先进大功率磁控电源,恒流输出,克服靶中毒。
磁控溅射全自动镀膜设备技术参数说明
设备型号:ZCK-1200,ZCK-1400,ZCK-1600,ZCK-1800
真空室尺寸:1200×1500,1400×1950,1600×1950,1800×1950
制膜种类:多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等
电源类型:直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源
圆柱靶:直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶
真空室结构:立式双开门、立式单开门
真空系统:滑阀泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选配:分子泵、深冷泵、深冷系统)
充气系统:质量流量控制仪(1-4路)
极限真空:6×10-4pa(空载、净室)
抽气时间:空载大气抽至5×10-3pa小于15分钟
工件旋转方式:6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
控制方式:手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC
备注:真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做